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詳情
本設備是鈣鈦礦液涂布-真空-老化一體化設備。采用直線電機驅動載臺運動，狹縫式涂布系統上下運動，在載臺上的ITO/FTO導電玻璃平板上在一定距離進行精密涂布成形，在涂布后進入真空腔進行快速真空干燥成形鈣鈦礦膜片。
技術要求和參數：
1.1 適用基板尺寸：最大可放置300mm×300mm的基材，帶真空吸附載臺；
1.2 基板類型：ITO/FTO導電玻璃平板；
2.1.1 涂布：日本制高精密產品用不銹鋼涂布頭；
2.1.2 最大涂布面積300×300mm；
2.1.3 涂頭高度可設定范圍 0-50mm；
2.1.4 Z軸分辨率：0.0001mm；Y軸分辨率：0.001mm
2.1.7 采用無接觸檢測方式，涂頭與平臺平面的平行度使用千分頭設置調整。（可選配電機調整方式）
2.1.8 涂頭墊片厚度：0.05\0.08\0.1mm(可以定制)
2.2.1 供液泵：精密微量泵；
2.3.1帶有預涂、涂頭封合及余液收集功能；
平臺材料：精密大理石平臺；
傳輸裝置：Y 軸和Z 軸的自動控制和定位，重復精度≤2μm；
平臺運動方式：采用無接觸的直驅電機驅動，無摩擦，穩定性好。
載臺采用特種合金材料或大理石；平整度：≤5μm；
玻璃基板固定方式：真空吸附；
配有涂后真空干燥腔。
配有涂后老化加熱功能
機體結構采用封閉腔體，可隔離揮發氣體和控制環境
操作系統采用工業控制系統控制；可實現數據采集和統計功能。
關鍵詞:
鈣鈦礦液涂布機
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