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詳情
技術特點：
●磨輪直徑 Φ300mm，最高減薄速率 0.9μm/s, 單片磨削時間＜ 5 分鐘。選擇高功率高扭矩主軸，可實現高效率、高精度、無損傷鏡面加工；
●雙主軸三工位全自動減薄機，配有在線測量儀單元（測量范圍 0-1800μm），精確控制減薄厚度；具備 SECS/GEM 聯網功能。配置 SMIF（選配），保持高清潔度的同時穩定減薄。
性能指標：
| WG-1250自動減薄機 | |||
| 磨削方式 | 通過旋轉晶圓，實現縱向切入式磨削 | ||
| 結構方式 | 1根主軸, 3個承片臺,1回轉工作臺 | ||
| 磨削尺寸 | mm | Max.Ø200(Φ6″-Φ8″) | |
| 磨輪直徑 | mm | Φ300 | |
| 主軸 | 主軸數量 | - | 2 |
| 主軸功率 | KW | 7.5 | |
| 主軸轉速 | rpm | 1000-4000 | |
| Z軸行程 | mm | 120 | |
| Z軸分辨率 | µm | 0.1 | |
| 承片臺 | 裝片方式 | - | 真空吸附 |
| 承片臺類型 | - | 多孔陶瓷式（6/8寸兼容） | |
| 轉速 | rpm | 0-300 | |
| 承片臺數量 | 套 | 3 | |
| 承片臺清洗方式 | - | 油石手動清洗 | |
| 減薄精度 | 片內厚度偏差 | µm | ≤2 |
| 片間厚度偏差 | µm | ≤±2 | |
| 表面粗糙度斤 | nm | ≤3(#30000 wheel,SiC) | |
| 設備 | 外形尺寸WxD×H | mm | 1445×3330×1895 |
| 設備重量 | kg | 4700 | |
關鍵詞:
WG-1261全自動減薄機
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