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WG-8500自動減薄機

WG-8500自動減薄機

多種可定制化的雙工位減薄機

詳情

技術特點：

● 可帶框架磨削異形片，最大可對應 8 英寸的框架；粗磨精磨軌跡統一，提高加工質量穩定性；
● 雙主軸三工位自動減薄機，粗磨精磨磨削同時進行，加工效率大幅度提高；可選配單測頭式測量儀和雙測頭測量儀。

 

性能指標：

WG-8500自動減薄機
磨削方式 通過旋轉晶圓，實現縱向切入式磨削
結構方式 1根主軸, 3個承片臺,1回轉工作臺
磨削尺寸   mm Max.Ø200(Φ4″-Φ8″)
磨輪直徑   mm Φ200
主軸 主軸數量 - 2
主軸功率 KW 4.2/5.5
主軸轉速 rpm 1000-6000
Z軸行程 mm 120
Z軸分辨率 µm 0.1
承片臺 裝片方式 - 真空吸附
承片臺類型 - 多孔陶瓷式（6/8寸兼容）
轉速 rpm 0-300
承片臺數量 套 3
減薄精度 片內厚度偏差 µm ≤3
片間厚度偏差 µm ≤±3
表面粗糙度斤 µm ≤3(#30000 wheel,SiC)
測量儀 測量范圍 µm 0-1800（選配）
分辨率 µm 0.1（選配）
重復精度 µm ±0.5（選配）
設備 外形尺寸WxD×H mm 1200×1800×1950
設備重量 kg 約3300

 

關鍵詞:

WG-8500自動減薄機

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